1200度石英管管式爐采是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐，1200度石英管管式爐采用石英爐管，管徑20~300mm可按需定制。雙O圈密封結(jié)構(gòu)搭配不同的真空機(jī)組獲得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法蘭總成可增強(qiáng)其擴(kuò)展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系統(tǒng)。

使用溫度范圍：300～1200℃? ? 溫度控制精度：±1℃? ? ? 管徑：φ25~φ100

主要用途：

高溫管式爐提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域；可擴(kuò)展性強(qiáng)，搭配不同的接口和真空系統(tǒng)及其他附件可組成不同用途的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，既是基礎(chǔ)組件也是核心組件。

管式爐主要特點(diǎn)：

雙層鈑金間的排溫風(fēng)扇能有效有效保護(hù)爐體表面溫升低于50℃；

爐蓋開啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性

程序控溫系統(tǒng)，可規(guī)劃多條曲線，可編程30段程序控溫

電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀

安全性：過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。

管式爐主要技術(shù)參數(shù)：

服務(wù)與支持

售前咨詢

1、按客戶技術(shù)要求為您提供選型服務(wù)；

2、按客戶實(shí)驗(yàn)?zāi)康奶峁┩扑]服務(wù)；

3、客戶無(wú)法提供需求時(shí)，可為客戶提供預(yù)約實(shí)驗(yàn)服務(wù)（點(diǎn)此了解），先試驗(yàn)后購(gòu)買。

售中服務(wù)

1、為客戶提供實(shí)時(shí)生產(chǎn)進(jìn)度匯報(bào)服務(wù)；

2、發(fā)貨追蹤服務(wù)；

3、建立設(shè)備檔案生成的可溯源身份編號(hào)，記錄其生產(chǎn)工藝，用料，配件等信息。

售后服務(wù)

1、安裝和操作指導(dǎo)；

2、可選購(gòu)的上門服務(wù)；

3、配件供應(yīng)服務(wù)（點(diǎn)此查看）。

質(zhì)保服務(wù)

電爐保修一年，并提供終身技術(shù)支持和維護(hù)服務(wù)；

特別提示：

1、加熱元件不在保修范圍內(nèi)（點(diǎn)此了解各種爐膛加熱元件的更換特點(diǎn)）。

2、石英配件，樣品坩堝等易損件不在保修范圍內(nèi)；

3、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

管式爐注意事項(xiàng)

1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

2、使用氣瓶向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，為了確保安全，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議使用壓力低于0.02MPa；

3、爐管為石英管時(shí)，爐內(nèi)溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓應(yīng)和大氣壓相當(dāng)；

4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊；

5、對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

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