1200度三溫區(qū)CVD管式爐介紹:
SGM1200度三溫區(qū)CVD管式爐由SGM 1200度管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,溫度可以達到1200度。管式可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
1200度管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和日本島電或宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等點。
1200度三溫區(qū)CVD管式爐應(yīng)用范圍:
1200度三溫區(qū)CVD管式爐是一種特殊的CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的不錯產(chǎn)品。
1200度三溫區(qū)CVD管式爐主要技術(shù)參數(shù):
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CVD管式爐 |
1200度管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng) |
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高溫爐殼體 |
采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃,內(nèi)爐膛表面涂有1750℃氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度? |
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加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁合金 |
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額定溫度 |
1200℃ |
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連續(xù)工作溫度 |
1100℃ |
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升溫速率 |
<=?20?℃ |
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爐管材質(zhì)和尺寸 |
石英管:?OD:?80mm?x??ID:?75?mm?x?Length:?1000?mm? |
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加熱區(qū)長度 |
三溫區(qū):200+200+200 mm |
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恒溫區(qū)長度 |
350??(+/-1?℃)? |
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控溫系統(tǒng) |
PID30段程序化控溫 |
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控溫精度 |
±1?℃ |
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真空密封系統(tǒng) |
兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),額定漏氣率6?mtorr/min |
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真空泵 |
采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的設(shè)計小微粒直徑為0.3微米。 |
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數(shù)字式真空顯示計?? |
數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上? |
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混氣系統(tǒng) |
三個質(zhì)量流量計
三路質(zhì)量量程分別為
10/100?cc/min.
16/160?cc/min.
25-250?cc/min
內(nèi)部安裝有一混氣罐? |
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功率 |
2.5?KW |
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電壓 |
AC?208-240V?單相,?50/60?Hz? |
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售后服務(wù) |
質(zhì)保一年,終身保修 |
1200度CVD管式爐可選配件:
質(zhì)量混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份