智能Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)
智能Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)
該款設(shè)備是智能型Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以低壓條件下實(shí)現(xiàn)工藝,PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光相對均勻等效,很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)。
本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。


















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