國外與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠介紹:阿斯麥
國外與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠有哪些?半導(dǎo)體設(shè)備廠家主要集中在國外,如荷蘭阿斯麥的沉浸式光刻機。
1、Applied Materials(應(yīng)用材料)
的應(yīng)用材料公司從2007年開始就一直占據(jù)位,除2011年被全球額定的半導(dǎo)體光刻設(shè)備廠商ASML奪取外,該公司一直保持著領(lǐng)導(dǎo)地位。應(yīng)用材料公司是材料工程解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者,該解決方案用于生產(chǎn)世界上幾乎所有新芯片和先進顯示器。2019年應(yīng)用材料的銷售額達134億美元,下滑3.9%。
2、荷蘭ASML(阿斯麥)
ASML已經(jīng)逐漸逼近應(yīng)用材料的市場規(guī)模,據(jù)ASML財報數(shù)據(jù),2019年ASML凈銷售額為118億歐元,凈收入為26億歐元。據(jù)Statista研究部報道指出,截至2019年,ASML的大部分銷售收入來自亞洲,為95億歐元,而該公司在和歐洲、中東和非洲的銷售收入分別為20億歐元和3億歐元。自2014年至2019年,ASML的總凈收入每年都在增長,2014年,這家荷蘭跨國公司實現(xiàn)了約59億歐元的凈營收,到2019年,這一數(shù)字翻了一番,ASML創(chuàng)造了約118億歐元的收入。
對于ASML而言,2019年是另一次增長之年,主要是由于對DUV和EUV的邏輯需求強勁,其EUV的訂單量為62億歐元,并見證了EUV在大批量生產(chǎn)中的采用。
荷蘭ASML公司 (全稱: Advanced Semiconductor Material Lithography,目前該全稱已經(jīng)不作為公司標識使用,公司的注冊標識為ASML Holding N.V),中文名稱為阿斯麥爾(中國大陸)、艾司摩爾(中國臺灣)。
ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機及相關(guān)服務(wù),TWINSCAN系列是目前世界上精度max高,生產(chǎn)效率max高,應(yīng)用max為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,比如英特爾(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、臺積電(TSMC)、中芯國際(SMIC)等。
目前已經(jīng)商用的max先進機型是Twinscan NXT 1950i,屬于沉浸式光刻機,用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路。
3、日本Tokyo Electron(東京電子)
東京電子的2019年排名與2018年一致,依舊是第三,2019年銷售額為95.5億美元,同比下滑12.5%。東電的產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造流程中的所有工序,主要產(chǎn)品包括:涂膠/顯影設(shè)備、熱處理成膜設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、沉積設(shè)備、清洗設(shè)備,封測設(shè)備。其中涂膠/顯影設(shè)備在全球占有率達到87%,在FPD制造設(shè)備中,刻蝕機占有率達到七成。
4、Lam Research(泛林)
2019年LAM的銷售額與排名第三的東京電子接近,都在95美元左右,下滑12.2%。對于半導(dǎo)體公司來說,排名第四的LAM research是硅技術(shù)路線圖的根本推動者,該公司專注于蝕刻,沉積和清潔市場。在過去的幾年中,得益于3D NAND不斷增加的層數(shù),以及代工廠/邏輯向10/7納米工藝節(jié)點的過渡,這需要更多的多個構(gòu)圖步驟,這些與垂直縮放相關(guān)的技術(shù)嚴重依賴于先進的蝕刻和沉積工具,Lam Research在蝕刻和沉積領(lǐng)域的份額不斷增長。據(jù)悉,Lam有80%的收入和內(nèi)存芯片有關(guān)(固態(tài)閃存和DRAM),LAM 的旗艦Kiyo,Vector和Saber產(chǎn)品主要出售給三星電子和臺積電等主要客戶。
5、KLA-Tencor(科天)
排在第五位的KLA 2019年的銷售額為46.6億美元,相比去年增長了10%,相比一第梯隊,KLA的銷售額為前四強的一半左右。不過在當今半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場格局中,KLA是全球絕對王者。據(jù)SEMI統(tǒng)計,2018年KLA在前道的檢測和測量市場中占比過半、穩(wěn)居行業(yè)一第,堪稱半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域王者。KLA長期以來一直主導(dǎo)著檢查半導(dǎo)體光掩模和掩模版的設(shè)備市場。國際市場上的客戶占公司收入的75%以上。2019年2月,KLA以約32億美元的價格收購了以色列公司Orbotech。通過此次收購,KLA分散了收入基礎(chǔ),并在PCB,F(xiàn)PD,封裝和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域增加了25億美元的潛在市場機會。
6、日本Advantest(愛德萬測試)
日本的愛德萬測試排在第六位,2019年其銷售額為24.7億美元,下滑了4%。從1972年愛德萬正式跨足半導(dǎo)體測試領(lǐng)域,經(jīng)過40多年的發(fā)展,公司已經(jīng)成為全球后道檢測設(shè)備的企業(yè)。在存儲器測試臺細分市場領(lǐng)域,愛德萬以40%的市占率長期位居全球位。愛德萬測試的主要產(chǎn)品包括自動化測試設(shè)備、SoC測試系統(tǒng)、內(nèi)存測試系統(tǒng)、機電一體化測試系統(tǒng)等。愛德萬測試研發(fā)出了日本多個“一第款”測試設(shè)備,開創(chuàng)了日本測試界的先河。
7、日本Screen Semiconductor Solutions
在全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備中具有較高占比的SCREEN依舊保持與2018年同樣的排名,排名第七。SCREEN的銷售額與愛德萬測試接近,為22億美元,比去年下降了1.2%。日本的SCREEN是世界上生產(chǎn)線圖像制版器材、電子元件制造設(shè)備的綜合制造廠商,創(chuàng)立于1943年。早在2008年SCREEN就占據(jù)涂布機/顯影機,濕法蝕刻機和抗蝕劑剝離劑的LCD制造設(shè)備市場的全球額定的份額。2009年SCREEN在單晶圓清洗系統(tǒng)中獲得了全球60%以上的份額。
8、Teradyne(泰瑞達)
排名第八的Teradyne(泰瑞達)公司是能夠覆蓋模擬、混合信號、存儲器及VLSI器件測試的設(shè)備提供商。泰瑞達2019年的銷售額比去年增長了4.1%,達到15.5億美元。2019年公司的測試臺市占率全球居,又是SoC測試臺的絕對龍頭。Teradyne將制造業(yè)中設(shè)計關(guān)鍵的兩個要素自動化:重復(fù)的手動任務(wù)和電子測試。在可靠性和性能至關(guān)重要的市場中,Teradyne的自動測試設(shè)備(ATE)可以加快新電子產(chǎn)品的上市時間。
9、日本Hitachi High-Technologies(日立高新)
在SEM測長等方面的設(shè)備中占有勢的日立高科的排名提升到TOP9。日立高科與泰瑞達的銷售額也非常接近,為15.3億美元,同比上升9.3%。日立高科所提供的半導(dǎo)體制造設(shè)備主要有干蝕刻系統(tǒng)、CD-SEM和缺陷檢查。日立高科技42%的銷售額來自日本。日立擁有該公司近52%的股份。
10、荷蘭ASM International(先域)
ASM international(ASMi)也由2018年第13名提升到第10名,其2019年銷售額為12.6億美元,是前十五家增長較多的一家企業(yè),比去年增長了27.2%。ASMi是晶圓加工半導(dǎo)體加工設(shè)備的供應(yīng)商。它是一家全球性公司,位于14個/地區(qū)。ASMi率先在工業(yè)上使用了許多成熟的晶圓加工技術(shù),包括光刻,沉積,離子注入和單晶圓外延。近年來,ASMi將原子層沉積(ALD)和等離子增強原子層沉積(PEALD)從研發(fā)一直帶到了先進制造商站點的主流生產(chǎn)。
11、日本Nikon(尼康)
設(shè)計亮眼的要數(shù)尼康,2018年從事曝光設(shè)備的尼康還在TOP15之外,而在2019年一躍成為TOP11,在TOP15中尼康的進步額定!2019年尼康的銷售額達到12億美元,相比2018年實現(xiàn)了翻倍增長,高達117.8%。尼康成立于1917年,設(shè)計早通過相機和光學(xué)技術(shù)發(fā)家,1986年推出一第款FPD曝光設(shè)備,如今業(yè)務(wù)線覆蓋范圍廣泛。
12、日本Kokusai Electric(國際電氣)
此外,擅長于熱處理等設(shè)備的國際電氣(Kokusai electric)銷售業(yè)績下滑了23.5%,排名也從2018年的第九位跌落至12名。2019年7月,據(jù)彭博社報道,應(yīng)用材料同意以約億日元(合22億美元)的價格從KKR&Co手中收購Kokusai Electric。Kokusai Electric將作為Applied公司半導(dǎo)體產(chǎn)品部門的業(yè)務(wù)部門運作,并將繼續(xù)將總部設(shè)在東京。Kokusai專注于批處理或并行處理許多晶圓,特別是對于存儲晶圓。據(jù)介紹,其主要客戶包括三星電子公司,臺灣半導(dǎo)體制造公司和英特爾公司。
KOKUSAI ELECTRIC原本就是日立國際電氣,并與日立High Technology共同在日立集團下開展半導(dǎo)體設(shè)備的競爭。但是,隨著日立制作所的業(yè)務(wù)集中、篩選,在2017年作為非核心業(yè)務(wù)被出售給了的私募基金(Private Equity Fund)――Kohlberg Kravis Roberts(KKR),正式脫離日立集團。此外,KKR把原本在日立國際電氣集團中承擔(dān)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和成膜工藝技術(shù)的資產(chǎn)進行匯總,于2018年6月成立了新的組織――KOKUSAI ELECTRIC。據(jù)英國Financial Times(中文名《金融時報》)2019年2月3日的報道稱,KKR正在討論要把KOKUSAI ELECTRIC的一部分半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)(或者全部業(yè)務(wù))出售給中國的大型企業(yè)和中國政府聯(lián)合的基金組織,以獲得利益。但是,由于及日本政府的反對,據(jù)業(yè)界相關(guān)人員透露,這次出售應(yīng)該不會成功。
13、日本Daifuku(大幅)
從事于半導(dǎo)體搬運系統(tǒng)的Daifuku(大福)相比2018年增長了13.9%,提升了一個名次,排名第13。大福與國際電氣的銷售額也比較接近,都在11億美元左右。大福的潔凈室存儲、搬運系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶等平板顯示器制造行業(yè),在許多世界著名企業(yè)均有銷售。大福此前發(fā)布了2019年三個季度的財務(wù)數(shù)據(jù),其訂單、銷售和營業(yè)收入主要是由于其在半導(dǎo)體和平板顯示器部門的投資減少。
14、新加坡ASM Pacific Technology
ASM是ASM International NV集團的一部分,該集團還包括ASM Pacific Technology(ASMPT)。ASMPT在15家公司中跌幅額定,2019年銷售業(yè)績下滑了24.3%,銷售額為8.9億美元。由去年的第11位降落到第14位。ASMPT成立于1975年,總部位于新加坡,自1989年以來在香港聯(lián)合交易所上市,也正因此,VLSI將其看做是中國的設(shè)備廠商。ASMPT是用于晶片組裝和封裝以及表面安裝技術(shù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備的供應(yīng)商,也是世界上一家為電子制造過程中所有主要步驟提供高質(zhì)量設(shè)備的公司,這些設(shè)備從用于芯片互連的載體到芯片組裝和封裝再到SMT。
15、日本Canon(好能)
在FPD曝光設(shè)備領(lǐng)域,尼康和好能兩家日本廠商占據(jù)主要地位,兩家也在不斷搶食FPD設(shè)備市場。據(jù)了解,好能在生產(chǎn)電視機顯示屏方向的大型面板的曝光設(shè)備方面實力雄厚,而尼康的曝光設(shè)備則在用于智能手機顯示屏的中小型面板方面更具有勢。好能在2019年半導(dǎo)體設(shè)備廠商銷售額排名跟去年一樣,都排在第15,不過其銷售額遠低于尼康,僅為6.9億美元,比去年下滑9.5%。
1、中電科電子裝備
公司是我國以集成電路制造裝備、新型平板顯示裝備、光伏新能源裝備以及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)為主的科研生產(chǎn)骨干單位,具備集成電路局部成套和系統(tǒng)集成能力以及光伏太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整線交鑰匙能力。多年來,利用自身雄厚的科研技術(shù)和人才勢,形成了以光刻機、平坦化裝備(CMP)、離子注入機、電化學(xué)沉積設(shè)備(ECD)等為代表的微電子工藝設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系,涵蓋材料加工、芯片制造、先進封裝和測試檢測等多個領(lǐng)域;通過了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等質(zhì)量管理體系與國際認證。擁有光伏裝備工程技術(shù)研究中心、國防科技工業(yè)軍用微組裝技術(shù)研究應(yīng)用中心、國防科技工業(yè)有源層化生長技術(shù)研究應(yīng)用中心等級研發(fā)基地。
2、浙江晶盛機電
公司以技術(shù)創(chuàng)新作為持續(xù)發(fā)展的動力源泉。相繼開發(fā)出具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的全自動單晶爐、多晶鑄錠爐、區(qū)熔硅單晶爐、藍寶石爐,成功開發(fā)并銷售多種光伏智能化裝備,并布局高效光伏電池和組件等其他裝備的研發(fā),努力打造光伏產(chǎn)業(yè)鏈裝備設(shè)計齊全、技術(shù)設(shè)計強的裝備龍頭企業(yè)。
3、深圳捷好偉創(chuàng)
公司的產(chǎn)品包括單/多晶制絨設(shè)備、管式擴散氧化退火爐、濕法刻蝕設(shè)備、管式等離子體淀積爐、智能自動化設(shè)備等五大產(chǎn)品系列。公司不僅可以為客戶提供晶體硅高效電池生產(chǎn)設(shè)備,也提供晶體硅電池“交鑰匙工程”系統(tǒng)解決方案以及晶體硅電池智能制造車間系統(tǒng)。
4、北京北方華創(chuàng)
北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司(以下簡稱“北方華創(chuàng)”)是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)和北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司戰(zhàn)略重組而成,是目前國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的企業(yè)。
北方華創(chuàng)擁有半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件四個事業(yè)群,為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地,營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要和地區(qū)。
5、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)
中微總部位于亞洲,設(shè)備用于創(chuàng)造世界上設(shè)計為復(fù)雜、精密的技術(shù):微小的納米器件為創(chuàng)新型產(chǎn)品提供智能和存儲功能。中微已經(jīng)成為新型的微觀加工高端設(shè)備公司,在提高技術(shù)水平和生產(chǎn)效率方面取得了重大突破,并且贏得了業(yè)內(nèi)頂尖芯片制造商和其他技術(shù)創(chuàng)新企業(yè)的信任。
6、上海微電子
SMEE主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
7、北京京運通
北京京運通科技股份有限公司(以下簡稱“公司”)成立于2002年8月8日,注冊資本為199,529.7701萬元人民幣,是一家以高端裝備制造、新材料、新能源發(fā)電和節(jié)能環(huán)保四大產(chǎn)業(yè)綜合發(fā)展的集團化企業(yè),主導(dǎo)產(chǎn)品包括單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐、區(qū)熔爐等光伏及半導(dǎo)體設(shè)備,多晶硅錠及硅片、直拉單晶硅棒及硅片、區(qū)熔單晶硅棒及硅片等光伏產(chǎn)品,光伏發(fā)電和風(fēng)力發(fā)電等新能源發(fā)電項目及蜂窩式中低溫SCR煙氣脫硝催化劑。
8、浙江天通吉成
天通吉成機器技術(shù)有限公司(簡稱TDG-MT)是天通股份旗下裝備產(chǎn)業(yè)的全資子公司,主要業(yè)務(wù)是粉體材料、晶體材料、顯示材料三大行業(yè)專用設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù),業(yè)務(wù)范圍涵蓋天通日進精密技術(shù)有限公司、天通新環(huán)境技術(shù)有限公司、浙江吉宏精密機械有限公司、湖南新天力科技有限公司等子公司。
9、盛美半導(dǎo)體(上海)
ACM研究有限公司于1998年在硅谷成立,為半導(dǎo)體工業(yè)開發(fā)濕法加工技術(shù)和產(chǎn)品。公司為集成電路制造和晶圓級封裝提供了一系列應(yīng)用設(shè)備,特別關(guān)注先進半導(dǎo)體器件的清潔技術(shù)。
2006年9月,ACM將其業(yè)務(wù)擴展到亞洲,并成立了子公司,ACM研究(上海)公司。ACM目前在中國上海張江高科技園區(qū)擁有完整的研發(fā)、工程和制造業(yè)務(wù)。2011年6月,該公司成立了第二家子公司,ACM研究(無錫),以更好地服務(wù)于該地區(qū)的客戶。此外,先進的服務(wù)覆蓋范圍還定位于全球各地的戰(zhàn)略地點,包括北京、臺灣、韓國和,為全球客戶提供世界級的支持。
10、格蘭達
格蘭達從1995年的機械加工和自動化裝置、工裝夾具業(yè)務(wù)起步,先后建立精密CNC加工、鈑金加工、表面處理(噴涂、氧化)、點膠、模具壓鑄和電子組裝等專業(yè)部門和團隊。
2003年,格蘭達建立研發(fā)中心,在半導(dǎo)體封裝設(shè)備、硬盤檢測設(shè)備、自動化設(shè)備、機械手集成應(yīng)用設(shè)備和數(shù)控機床設(shè)備等領(lǐng)域先后取得100多個技術(shù)技術(shù)和實用新型技術(shù)。
格蘭達從成立之初在深圳福田租賃600平方米廠房起步,先后購置和建設(shè)深圳福田金谷辦公室、深圳坪山裝備產(chǎn)業(yè)園及江門數(shù)控裝備產(chǎn)業(yè)園;并陸續(xù)在香港、新加坡、上海、江門、等地設(shè)立公司或生產(chǎn)基地。


















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