爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，表面溫度低；
質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維爐膛，保溫性能良好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

爐蓋可開(kāi)啟設(shè)計(jì)，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料、更換爐管便捷

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

額定溫度：1200℃

工作溫度：≤1100℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm

推薦升溫速率：10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測(cè)溫元件：K型熱電偶

恒溫精度：±1℃

電源

電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

爐管

高純石英管

尺寸：Φ60*1250mm、Φ80*1250mm、Φ80*1250mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用硅橡膠“O”型圈緊密密封

通過(guò)KF卡箍完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐架，平衡爐管的受力情況

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

供氣系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)量程：100，200?，500，1000SCCM；?（以氮?dú)鈽?biāo)定，除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%F.S.

重復(fù)精度：±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

額定壓力：3MPa

接頭類型：Φ6,1/4''雙卡套不銹鋼接頭

顯示：4位數(shù)字顯示

流量規(guī)格：0~500sccm

流量精度：±1.5%

高真空真空系統(tǒng)

機(jī)械泵
抽氣速率：4L/S
容油量：1.1L
電機(jī)功率：400W
極限壓強(qiáng)：6×10-2Pa
分子泵
抽氣速率：100L/S
極限壓強(qiáng)：6×10-6Pa
啟動(dòng)時(shí)間：＜2min
額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分
冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。
分子泵控制器
電壓：220V±22V
啟動(dòng)電流：≤7A
輸入頻率：47HZ—63HZ
額定輸出功率：≤150W
額定加速電壓：≤40V
加速時(shí)間：≤3min
頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ???????低速430HZ±5HZ
復(fù)合真空計(jì)
測(cè)量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）
工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)

電阻規(guī)
測(cè)量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
電離規(guī)
可測(cè)范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa
控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa
規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

射頻電源系統(tǒng)

輸出功率:5-500W?

功率穩(wěn)定度：±0.1%

射頻電源頻率:13.56MHz?穩(wěn)定性±0.005%?

額定反向功率:200W??????

射頻接口:???????50?Ω,?N-type

冷卻:風(fēng)冷

電源:AC187-253V?50/60Hz

輸入功率：1KW??AC?220V